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簡要描述:高溫四探針測試儀現(xiàn)貨,采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱結(jié)合配置的高溫測試探針治具,滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求,通過先進的測控軟件可以顯示出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線,是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
品牌 | ROOKO/瑞柯 | 價格區(qū)間 | 1萬-3萬 |
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自動化度 | 全自動 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,交通,航天,汽車 |
高溫四探針測試儀
采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制,解決半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求,軟件實時繪制出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜,及過程數(shù)據(jù)值的報表分析.
二.四探針測試儀適用行業(yè):Applicable industry:
用于:企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設(shè)計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標準。
FT-351高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)
FT-351 high temperature four probe resistivity test system
一.四探針測試儀概述:
采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制,解決半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求,軟件實時繪制出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜,及過程數(shù)據(jù)值的報表分析.
二.四探針測試儀適用行業(yè):
用于:企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設(shè)計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標準。
三.四探針測試儀型號及參數(shù)
規(guī)格型號 | FT-351A | FT-351B | FT-351C |
1.方塊電阻范圍 | 10-5~2×105Ω/□ | 10-6~2×105Ω/□ | 10-4~1×107Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 10-6~2×106Ω-cm | 10-7~2×106Ω-cm | 10-5~2×108Ω-cm |
3.測試電流范圍 | 0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,10mA,100 mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA | 10mA ---200pA |
4.電流精度 | ±0.1%讀數(shù) | ±0.1讀數(shù) | ±2% |
5.電阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤10% |
PC軟件界面 | 顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 | ||
7.測試方式 | 雙電測量 | ||
8.四探針儀工作電源 | AC 220V±10%.50Hz <30W | ||
9.誤差 | ≤3%(標準樣片結(jié)果 | ≤15% | |
溫度(選購)
| 常溫 -400℃;600℃;800℃;1000℃;1200℃;1400℃;1600℃ | ||
氣氛保護(氣體客戶自備)) | 常用氣體如下:氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn),均為無色、無臭、氣態(tài)的單原子分子 | ||
溫度精度 | 沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C | ||
升溫速度: e | 常溫開始400℃--800℃需要15分鐘;800℃-1200℃需要30分鐘;1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘 | ||
高溫材料 | 采用復(fù)合陶瓷纖維材料,具有真空成型,高溫不掉粉的特征 | ||
PC軟件 | 測試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)! | ||
電極材料 | 鎢電極或鉬電極 | ||
探針間距 | 直線型探針,探針中心間距:4mm;樣品要求大于13mm直徑 | ||
標配外(選購): | 電腦和打印機1套;2.標準電阻1-5個; | ||
高溫電源: | 供電:400-1200℃ 電源220V,功率4KW;380V;1400℃-1600℃電源380V;功率9KW: |
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