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高溫四探針測試儀

簡要描述:高溫四探針測試儀現(xiàn)貨,采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱結(jié)合配置的高溫測試探針治具,滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求,通過先進的測控軟件可以顯示出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線,是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-06-13
  • 訪  問  量:2975
詳細介紹
品牌ROOKO/瑞柯價格區(qū)間1萬-3萬
自動化度全自動產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子,交通,航天,汽車

高溫四探針測試儀

采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制,解決半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求,軟件實時繪制出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜,及過程數(shù)據(jù)值的報表分析.

二.四探針測試儀適用行業(yè):Applicable industry:

用于:企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).

雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設(shè)計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標準。

 

FT-351高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)

FT-351 high temperature four probe resistivity test system

一.四探針測試儀概述:

采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制,解決半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求,軟件實時繪制出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜,及過程數(shù)據(jù)值的報表分析.

二.四探針測試儀適用行業(yè):

用于:企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).

雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設(shè)計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標準。

三.四探針測試儀型號及參數(shù)

規(guī)格型號

FT-351A

FT-351B

FT-351C

1.方塊電阻范圍

10-5~2×105Ω/□

10-6~2×105Ω/□

10-4~1×107Ω/□

2.電阻率范圍

10-6~2×106Ω-cm

10-7~2×106Ω-cm

10-5~2×108Ω-cm

3.測試電流范圍

0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,10mA,100 mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

10mA ---200pA

4.電流精度

±0.1%讀數(shù)

±0.1讀數(shù)

±2%

5.電阻精度

≤0.3%

≤0.3%

≤10%

PC軟件界面

顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率

7.測試方式

雙電測量

8.四探針儀工作電源

AC 220V±10%.50Hz  <30W

9.誤差

≤3%(標準樣片結(jié)果

≤15%

溫度(選購)

 

常溫 -400℃;600℃;800℃;1000℃;1200℃;1400℃;1600℃

氣氛保護(氣體客戶自備))

常用氣體如下:氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn),均為無色、無臭、氣態(tài)的單原子分子

溫度精度

沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C

升溫速度: e

常溫開始400℃--800℃需要15分鐘;800℃-1200℃需要30分鐘;1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘

高溫材料

采用復(fù)合陶瓷纖維材料,具有真空成型,高溫不掉粉的特征

PC軟件

測試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)!

電極材料

鎢電極或鉬電極

探針間距

直線型探針,探針中心間距:4mm;樣品要求大于13mm直徑

標配外(選購):

電腦和打印機1套;2.標準電阻1-5個;

高溫電源:

供電:400-1200℃ 電源220V,功率4KW;380V;1400℃-1600℃電源380V;功率9KW:

 

 

 

 


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